纳米压痕仪主要用于测量纳米尺度的硬度与弹性模量，可以用于研究或测试薄膜等纳米材料的接触刚度、蠕变、弹性功、塑性功、断裂韧性、应力-应变曲线、疲劳、存储模量及损耗模量等特性。可适用于有机或无机、软质或硬质材料的检测分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩绘釉漆，光学薄膜，微电子镀膜，保护性薄膜，装饰性薄膜等等。基体可以为软质或硬质材料，包括金属、合金、半导体、玻璃、矿物和有机材料等。
仪器参数
位移测量方式：电容位移传感器
压头总的位移范围： ≥ 1.5 mm
最大压痕深度： > 500 um
位移分辨率： 0.01 nm
加载模式： 电磁力
最大载荷 (标配)： > 500 mN
载荷分辨率： 50 nN
高载荷选件： 10 N/50 nN
DCM 压痕选件： 10 mN/1 nN
框架刚度： ≥ 5 x 106 N/m
有效使用面积： 100 mm X 100 mm
定位精度： 1 um
定位控制模式： 全自动遥控
总的放大倍率： 250 倍和 1000 倍
物镜镜头： 10 X 和 40 X
